Zirkonium adalah logam greyish putih kelogaman. Logam halus dibahagikan boleh terbakar secara spontan dalam udara, terutamanya pada suhu tinggi. Logam pepejal adalah jauh lebih sukar untuk terbakar.
Sasaran ini boleh dibekalkan oleh titanium, tantalum, niobium, tungsten, molibdenum yang kaya, zirkonium dan hafnium dan aloi mereka.
Saiz biasa untuk zirkonium sputtering sasaran terutamanya diproses sebagai
Zirkonium pusingan sasaran: Dia40 * 17mm, Dia63 * 32mm, Dia92 * 38mm, Dia100 * 32mm, Dia100 * 40mm, Dia100 * 45mm, Dia105 * 16mm, Dia160 * 12mm, dan sebagainya.
Zirkonium plat sasaran: Dia141 * Dia125 * 1550mm, Dia89 * Dia73 * 1960mm, Dia152 * Dia125 * 966mm, Dia152 * Dia125 * 1566mm, Dia70 * Dia56 * 1050mm, Dia70 * Dia56 * 2100mm, dan sebagainya.
Zirkonium tiub sasaran: 12/13/14 * 132 * 1701 mm, 12 * 170 * 830 mm, 18 * 152 * 635 mm, 18 * 191 * 741 mm, 18 * 191 * 1040 mm, 20 * 190 * 740 mm, dan lain-lain.
Gambar-gambar bagizirkonium sputtering sasaran
|
|
|
